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詳細介紹
| 價格區間 | 面議 | 產地類別 | 國產 |
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產品型號 | ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀 | ||
主要特點 | 1、采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm) 2、可實現穆勒矩陣數據處理，測量信息量更大，測量速度快、數據更加精準 3、基于雙旋轉補償器配置，可一次測量獲得全部穆勒矩陣的16個元素，相對傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息 4、確保在寬光譜范圍內，提供優質穩定的各波段光譜 5、數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料 6、集成對納米光柵的分析，可同時測量分析納米結構周期、線寬、線高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息 | ||
技術參數 | 1、應用：科研級/企業級 2、基本功能：Psi/Delta、R/T、穆勒矩陣等光譜 3、分析光譜：380-1000nm(支持擴展至210-1650nm) 4、單次測量時間：1-8s 5、重復性測量精度：0.005nm 6、精度(直通測量空氣) 橢偏參數:ψ=45±0.05°△=0±0.1° 穆勒矩陣:對角元素m=1±0.005；非對角元素m=0±0.005 7、光斑大小：大光斑2-3mm；微光斑200μm | ||
可選配置 | 波段選擇 V:380-1000nm UV:245-1000nm XN:210-1650nm DN+:193-2500nm 角度選擇 自動:45-90° 手動:55-75°(5°步進),90° 固定:65° 其他選擇 Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制) 溫控臺:室溫一600C(供參考,按需定制) | ||
可選配件 | 1 | 溫控臺 |
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2 | Mapping擴展模塊 |
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3 | 真空泵 |
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4 | 透射吸附組件 | ||
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